【課題】 平面性が良好で、熱寸法安定性に優れた二軸延伸された熱可塑性樹脂フィルムを効率的に得ることができる弛緩熱処理方法を提供すること。
【解決手段】 二軸延伸ポリエステルフィルムを熱処理する方法において、長尺の二軸延伸ポリエステルフィルムを一対の送り出しロールで加熱ゾーン内に導き、加熱ゾーン内で懸垂させ下方に走行させる過程で加熱し、加熱ゾーン外の下方で二軸延伸ポリエステルフィルムの走行方向を反転させて冷却ゾーン内に導き、冷却ゾーンの上方外部に配置した一対の引き取りロールで上方に走行させる過程で冷却することを要旨とする。 （もっと読む）

【課題】処理対象物を汚染することなく、広範囲に渡って、均一で高密度のプラズマを効率よく発生させることができる装置を提供する。
【解決手段】容器に装着され、自由空間波長λのマイクロ波が伝搬する矩形導波管である導波管部５と、導波管部５の壁部に、管内波長λｇの１／２の間隔で上記壁部の長手方向に形成された矩形状の複数のスロット１２から成るスロットアンテナ１０と、スロットアンテナ１０を有する壁部の外表面に接して設けられ、スロットアンテナ１０を覆う誘電体板１１とを備え、複数のスロット１２は、ａ）壁部の長軸を挟んで交互に配置され、ｂ）中心軸からの距離が一定であり、ｃ）複数のスロット１２の数をｎ、ｎ×λｇ／２をλ／２で除して得られる数をｍとした場合、ｍ−１＜ｎ＜ｍを満たし、ｄ）導波管部５のインピーダンスが、第２導波管５にスロットアンテナ１０がない場合のインピーダンスである特性インピーダンスとほぼ等しい。 （もっと読む）