【課題】構造を簡略化することができると共に、短時間で均一な厚みに蒸着物質を基板に蒸着することができる蒸着装置の提供。
【解決手段】本発明の蒸着装置は、フレーム上に往復移動可能に取り付けられた移動プレート、基板上に蒸着できるように蒸着材料を蒸発させ、前記移動プレートに前記移動プレートの移動方向と交差する方向に配設けられた複数の蒸発源、及び、前記移動プレートを往復駆動させるための駆動ユニットを含む。 （もっと読む）

本発明は、バスとカッププレート及びローディングプレートを備えるローディングカップと、前記ローディングカップを研磨装置部のプラテンとスピンドルとの間で旋回及び昇降させる駆動装置部及び駆動軸と、前記ローディングカップと駆動軸との間を連結するアームとを含む構成において、前記バスとカッププレート及びローディングプレートの相互対応する位置には、１つ以上の通孔がそれぞれ貫通形成され、前記各通孔には、研磨されたウェーハ該当地点での膜質研磨厚さを測定するためのプローブ組立体がそれぞれ挿入設置され、前記アームの内部には、光源を含む通常の厚さ検出装置部と前記各プローブ組立体との間を連結する光ファイバケーブルが配置されてなる。 （もっと読む）