【課題】フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の薄型化のためのエッチング装置を提供する。
【解決手段】前記エッチング装置は、ガラス基板２０が付着できるジグ１０と、ガラス基板２０にエッチング液を噴射する噴射手段５４と、ジグ１０をエッチング装置の中に移送する進行ライン１２とで構成される。噴射手段５４とガラス基板２０との距離は、１００ｍｍ超過１５０ｍｍ以下の範囲にし、噴射圧力は０．５ｋｇ／ｃｍ^２未満にすることを特徴とする。本発明によれば、十分なエッチングが行われながらも、エッチングされたガラス基板２０の均一度を向上させることができ、生産性を向上させることができる。 （もっと読む）