【課題】 微細粉末状の窒化硼素を利用可能にし、８００℃以上の高温にすることが可能なヒータの製造方法を提供する。
【解決手段】 筒状の容器と、この容器内に収容された抵抗発熱体と、この抵抗発熱体を埋設する無機絶縁材料とを有するヒータの製造方法において、窒化硼素と坦持体とを混合して前記坦持体の表面に前記窒化硼素を坦持させ、前記窒化硼素を前記坦持体とともに前記容器に充填して前記無機絶縁材料を形成した。前記坦持体は、マグネシア（MgO）、ジルコニア（ZrO₂ ）、アルミナ（Al₂ O₃
）のうちのいずれか一つ又は二つの以上の混合体とするとよい。 （もっと読む）