説明

台湾大福高科技設備股▲分▼有限公司により出願された特許

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【課題】軽量化を図ることができながら塵埃の発生を抑制することができる基板収納容器を提供する。
【解決手段】基板収納用の収納体51に、基板を出し入れ自在に載置支持する複数の基板支持部52を上下方向に並設し、基板支持部52を、基板出し入れ方向と直交又は略直交する収納体横幅方向に沿う軸芯周りに回転可能な複数の支持用回転軸53を、基板出し入れ方向に並設して構成し、基板出し入れ方向に沿って伸びる状態で配置された連動用回転軸54を、その長手方向に沿う軸芯周りの回転によって基板支持部52における複数の支持用回転軸53の夫々を回転させるように、それら複数の支持用回転軸53の夫々と連動連結し、連動用回転軸54における基板出し入れ方向の端部に、磁気式の従動回転体65を設ける。 (もっと読む)


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