【課題】本発明は、複雑な立体形状を有する金型であっても、密着性のよいフォトマスクが容易に作成でき、しかも繰り返し露光を可能とする再現性の高い位置決め精度を有する露光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱間プレス成形用金型の表面に成膜したレジスト膜に、露光により所定のパターンを転写する真空圧空成形露光装置であって、レジスト膜が表面に成膜された成形用金型を気密に収容する気密容器と、前記成形用金型を載置する台座と、所定のパターンが形成されたシートを加熱して軟化する加熱機構と、軟化したシートを金型に被せた際にシート下面を台座に吸着させる吸引部と、前記吸引部に接続された吸引機構と、軟化したシートを前記成形用金型に吸着させた状態で当該シートにおける前記パターンをレジスト膜に露光する露光機構と、前記気密容器内を加圧する気体を供給する気体供給部と、を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の金型の表面を、深く、均一に加工する。
【解決手段】加工形状のパターンを形成した印刷シートを軟化し、軟化シートを形成する。軟化シートを金型形状加工後の金型２またはそれと同形状の型の表面に密着後、硬化し、３次元形状の３次元マスキングを形成する。レジスト膜が成膜された金型２に３次元マスキングを密着させ、露光により加工形状のパターンをレジスト膜に転写、現像し、複数のノズルから噴射するエッチング５液により前記金型の不要な表面を除去する。その際、エッチング液５の温度等を制御してエッチングを制御する。 （もっと読む）