【課題】装置への低周波振動の伝送を回避する、及び／又は、ポンプ要素とハウジングとの間の相対運動を低減することにより運用寿命が延びる真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプ(10)には、ポンプハウジング(24)の外側面(22)に保持要素(36,38) が設けられている。保持要素(36,38) は、少なくとも１つの質量要素を支持するために設けられている。好ましくは真空ポンプ(10)の長手軸(34)に対して非対称的に配置された質量要素により、生じる振動が抑制され得る。 （もっと読む）

【課題】ロータ軸の長さが長い真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプ又は複数入口式ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプ又は複数入口式ポンプが、少なくとも１つのロータ手段14を支持するロータ軸12を備えている。ロータ軸12は、吐出側軸受組立体56により吐出側で支持されて、吸込み側軸受組立体30により吸込み側で支持されている。吸込み側軸受組立体30は、電磁軸受36を含んでいる。吐出側軸受組立体56は、ロータ軸12の長さを長くできるように玉軸受58を含んでいる。玉軸受58は、好ましくは電磁軸受36によって付勢されている。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、外側軸受環(36)を有する転がり軸受(28)を備えた、特に真空ポンプに適した真空式転がり軸受構成に関する。外側軸受環(36)とハウジング要素(40,50)との間に保持スリーブ(42)が配置されている。転がり軸受(28)からの放熱を改善するために、保持スリーブ(42)は突出部(52)を有している。従って、特には径方向に延びるこの環状の突出部(52)は少なくとも１つの更なる熱伝達面(56,58) を形成している。
（もっと読む）

【解決手段】本発明は、相互に連結された２つの真空ポンプ(12,35) を備えた真空ポンプシステムに関する。小型の真空ポンプシステムを構成するために、２つの真空ポンプは、ポンプハウジングに直接連結され連結部(34)を構成する連結要素(22,38) によって連結されており、より大きな力又はモーメントが上方の真空ポンプ(35)の出口フランジ(46)と下方の真空ポンプ(12)の入口フランジ(14)とにより伝達されることなく、出口フランジ(46)が入口フランジ(14)上に直接配置されている。
（もっと読む）

【解決手段】改善された多段式の油分離機を提供し、特に低温技術における圧縮機に用いる油分離機を提供するために、油分離機は、ガス入口(18)及びガス出口(20)を有するハウジング(10)と、ハウジング(10)内のガス入口(18)とガス出口(20)との間にカスケード型として配置された少なくとも２つのフィルタ要素(26,28) とを備えている。
（もっと読む）

【解決手段】本発明は、ポンプ室(12)に複数のポンプ要素(14)を備えた真空ポンプに関する。ポンプ要素(14)の内の１つが電動機(24)により駆動される。周波数インバータ(30)が、電動機(24)の回転速度を変更するために設けられている。周波数インバータ(30)は、ポンプハウジング(10)に隣接した周波数インバータハウジング(32)内に配置されている。空気冷却器(34)及び液体冷却器(36)が、周波数インバータ(30)を冷却するために周波数インバータハウジング(32)内に配置されている。
（もっと読む）

【解決手段】本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに関しており、真空ポンプは軸(12)に支持されたポンプ要素(14)を備えている。軸(12)は、第１の軸受組立体(24)と第２の軸受組立体(26)とによりポンプハウジング(10)内に支持されている。動作中に生じる軸(12)とポンプハウジング(10)との熱膨張の差を補償するために、第１の軸受組立体(24)は、軸方向の移動を少なくとも部分的に補償するための補償要素(32)を有する。
（もっと読む）

真空ポンプハウジングは、ポンプ室を形成するポンプハウジング（２６）を備える。ポンプ室にはポンプ要素が配置される。ポンプハウジング（２６）の平面状の外面（３０）には、冷却要素（１０）が配置される。冷却要素（１０）は、ポンプハウジング（２６）の外面（３０）に向けて開放された少なくとも１つの冷却流路（１２）を備える。本発明は、更に、様々な外形寸法を有する複数の冷却要素（１０）を備えた冷却要素の集合体に関する。
（もっと読む）

【解決手段】本発明は、容積形ポンプ(10)の入口(18)と出口(20)との間で最大差圧（△P_max）を生成すべく使用される容積形ポンプ(10)のための簡単でありエネルギー効率が良い粗引き法に関する。粗引き法では、容積形ポンプ(10)の入力動力(3,4) が、最大差圧（△P_max）を生成すべく気体を圧縮するために必要な最小動力(2) に近いように、容積形ポンプ(10)の回転速度（Ω）が、生成されるべき最大差圧（△P_max）に応じて調整される。
（もっと読む）

【解決手段】本発明は、ポンプハウジング(10)に配置された吸込室(12)を備えており、特には大気圧に抗して圧縮するためのスクリュー式真空ポンプに関する。互いに噛合する２つのスクリューロータ(14)が吸込室(12)に配置されている。スクリュー式真空ポンプは、圧力解放出口部(26)を更に備えており、圧力解放出口部(26)は、吸込室(12)の側壁(24)に配置された複数の圧力解放開口(28)を有している。
（もっと読む）