【課題】膜厚を考慮した解析モデルを組み込んだ表面加熱・表面測温型の薄膜熱拡散率測定装置を構築する。
【解決手段】基板１をレーザパルス光などの加熱パルス光３を用いることにより、基板１上に成膜された薄膜２の表面を瞬間的に加熱すると表面温度が瞬間的に上昇する。その後、熱は、薄膜２の内部へ拡散し基板１内へと浸透し、薄膜２の表面温度は減衰する。測温パルス光４(P2)は、加熱パルス光３(P3)と同じ領域に照射される(4a)。その反射光(4b)の光強度は、薄膜２の表面温度に依存してわずかに変化する。この反射光の強度を検知器５により検知し、薄膜２表面の温度変化を検出する。検知器５は、反射光の強度を測定する光強度センサ５ａと、光強度センサ５ａからの信号に基づいて実際の温度とその変化を求め、記録する情報処理装置５ｂとを備えている。情報処理装置は、膜厚を考慮した解析モデルから、薄膜の熱拡散率を算出する演算部が組み込まれている。 （もっと読む）