説明

エドワーズ株式会社により出願された特許

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【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 (もっと読む)


【課題】故障原因と思われる対象範囲を容易に絞り込めるようにすることで迅速な復旧を可能とした燃焼式排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】ケーブル16の途中には故障箇所特定ツール14が配設されている。故障箇所の特定に当たっては、まず、スイッチ41を閉じる。このとき、種火制御ユニット26から供給された電流はダイオード43を介して抵抗45を流れる。即ち、抵抗45に流れる擬似電流が種火制御ユニット26に入力されることになる。そして、このとき、種火制御ユニット26側から見れば、あたかも種火が点いていることを確認できたかのように判定されることになる。従って、種火の異常により燃焼・除害のシステムが停止しているかもしれない場合であっても、擬似電流により種火は正常に存在するという認識の元に次のメイン燃料の供給等のステップに進むことになる。故障範囲を絞り込めるようにしたことで迅速な復旧が可能である。 (もっと読む)


【課題】逆火現象や高温ガスの循環流の発生を防止でき、装置の稼動効率の向上を図るのに好適な除害装置を提供する。
【解決手段】除害装置1は、真空ポンプPから排気されるガスを処理対象ガスとして燃焼により除害する燃焼炉2と、真空ポンプPから排気されるガスを処理対象ガスとして燃焼炉2へ導く通常ライン配管3と、真空ポンプPから排気されるガスを燃焼炉2以外へ導くバイパスライン配管5と、通常ライン配管3とバイパスライン配管5とを選択的に切り換えるライン切り換えバルブ6と、を備え、更に、通常ライン配管3内に不活性ガスを供給することにより通常ライン配管3内にライン切り換えバルブ6から燃焼炉2へ向うガスの流れを形成する手段として、ガス供給手段8が設けられるものとする。 (もっと読む)


【課題】回転翼を軽量化することに伴い生ずる重心位置変動及び慣性モーメント比の変動を調整することの可能な回転体及び該回転体を搭載した真空ポンプを提供する。
【解決手段】回転体103のハブ99の下端で、かつ環状張出部98の内周端には下方に向けて延長部材203が環状に突出されている。そして、この延長部材203の下端には、この延長部材203の厚みよりも外側に向けて大きい厚みを有する環状の重り部205が形成されている。重量調整部材としての延長部材203及び重り部205はステータコラム122の形状に沿って回転体103の内側に突出されている。そして、重り部205は延長部材203の長さを経た分回転体103の重心位置よりも一層離隔して配設されている。 (もっと読む)


【課題】真空装置側へ真空ポンプから放射される熱を効率的に低減させる。
【解決手段】真空ポンプの吸気口側における、回転翼及び固定翼(ブレード)の上部領域に、真空ポンプの軸線にも吸気口面にも平行ではない傾斜面を持つ板形状遮熱部材を有する熱交換器を配設し、更に、真空ポンプの吸気口側の上部領域に、当該熱交換器に支持されている網形状の遮熱部材を配設する。そして、熱交換器に接する冷却機構を熱交換器の外周に配設する。
更に、網形状の遮熱部材は、真空ポンプのロータの吸気口側端面領域と等しい径を有する中央部が低い開口率のメッシュで成形され、中央部の周囲を囲む領域(回転翼及び固定翼が配設される領域)が高い開口率のメッシュで成形されることで、真空ポンプの気体移送機構の排気性能の低下を抑制しつつ、真空装置側へ放射される熱を効率的に低減させることができる。 (もっと読む)


【課題】真空ポンプの停止によるチャンバーへの逆流を防止すると共に復旧が容易であることを兼ね備えた逆流防止システム及び該逆流防止システムを備えた真空ポンプを提供する。
【解決手段】インバータ回路13に流れる電流値が一時的な過負荷状態であることをタイミングt1でコンパレータ17若しくはコンパレータ27のいずれかが検出したときにゲートバルブ3の閉止信号が例えばt1からt2に至るまでの1秒間だけパルスとして送信され、ゲートバルブ3はt1から閉止動作を開始する。過負荷状態は一時的なものであり、すぐに収束したような場合には真空ポンプ5はそのまま停止せずに継続して動作する。しかしながら、ゲートバルブ3は閉止指令を受けてほぼ1秒後には完全に閉止しているため、センターにおいて監視員が真空ポンプの運転が継続されていることを確認した後、t3においてゲートバルブ3の開指令を送信する。 (もっと読む)


【課題】クリーニング効率を改善することでポンプ内部での生成物堆積を低減させ、ポンプの長寿命化を図ると共に、半導体の製造効率を上げた半導体製造装置に適用のポンプを提供する。
【解決手段】クリーニング指令信号35の発信を受けてバルブ25は開かれる。このとき、ヒータ23で加熱された窒素ガスがドライポンプ13内に例えば40リットル/分の流速で導入される。ヒータ23は図示しない熱電対により制御され常時例えば200℃程度に加熱されている。加熱された窒素ガスがドライポンプ13内に導入されたことで、プロセス処理期間中は内部温度が80℃程度に低く、一方、クリーニング期間中は内部温度を100℃程度にまで上昇できる。このように、クリーニング期間中だけドライポンプ13内部を昇温させることで、クリーニングガスを効率良く機能させ、堆積物の除去をし易くできる。 (もっと読む)


【課題】除害の副産物であるHFが水に溶けることによって、アノード電極が腐食され、電極の寿命が短くなることを防止したガス処理装置及びガス処理システムを提供する。
【解決手段】水供給管61より分岐された中性のH2Oは給水孔59a、給水孔59b、給水孔59cを通りアノード電極25内部に形成された中央通水溝57a、内側環状通水溝57b及び外側環状通水溝57cに対し供給される。中央通水溝57a、内側環状通水溝57b及び外側環状通水溝57cのそれぞれの容積を超えた分のH2Oがアノード電極25の上面より溢れ出る。このとき、内側貯留槽42に水没されているアノード電極25の上面には中性のH2Oのバリアが形成される。従って、アノード電極25の上面付近ではHFの濃度が薄まり、アノード電極25がHFに晒され難くなる。 (もっと読む)


【課題】電極の長寿命化を図りつつプラズマ中でのガスの酸化を促進することの可能な除害装置及び除害システムを提供する。
【解決手段】給水管31より給水されたH2Oに対しバブル発生装置33より多数の細かい粒状の気泡35が混入される。H2Oはパイプ23を堰として溢れ、その後、パイプ23の内側を伝ってほぼ均一に自然落下する。このとき、気泡35はカソード電極27の位置する付近ではH2Oから外に飛散し難く、一方、パイプ23の内側を伝って流れるH2Oに含まれている空気又はO2は、内側貯留槽42に至るまでの過程で徐々に外部に飛散する。このとき、プラズマの周囲にプラズマの流れと並行した水膜41が形成されているため、広範囲に亙ってO2と接触され、PFCガスが酸化される。 (もっと読む)


【課題】ガス流路に堆積した物質の物性による影響を受けることなく、どのような物性の物質が堆積しても信頼性の高い堆積物の検知を可能とした堆積物検知装置と、該装置を備えた排気ポンプを提供する。
【解決手段】堆積物検知装置1は、ガス流路R内の堆積物を検知する堆積物検知装置であって、感圧部2Aで圧力を検出し出力する圧力計測手段2と、圧力計測手段2の感圧部2Aとガス流路Rとに開口した連通路3と、圧力計測手段2からの出力である圧力の変動幅を監視することにより堆積物を検知する検知処理手段4と、を備える。 (もっと読む)


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