説明

ダウ コーニング コリア株式会社により出願された特許

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【課題】半導体チップ(ダイ)の前駆体であるウェーハ面にスピンコーティング法により塗布しても、ウェーハ全面に均一に塗布可能な液状ダイボンディング剤を提供する。
【解決手段】(A)一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン、(B)一分子中に少なくとも2個のケイ素結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン、(C)ヒドロシリル化反応触媒、(D)ヒドロシリル化反応抑制剤、(E)前記(A)成分,(B)成分,(D)成分を溶解可能な、液状であり沸点が180℃〜400℃である有機溶剤からなる液状ダイボンディング剤、さらに(F)有機ケイ素化合物系接着促進剤からなる液状ダイボンディング剤。 (もっと読む)


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