説明

サブ−ワン・テクノロジー・インコーポレーテッドにより出願された特許

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断面寸法(たとえば直径)が相対的に小さい被加工物(60)を、断面寸法が相対的に大きい被加工物(10)内の中心に置く。これらの被加工物は電気的に接続される(62)。ある実施例では、これら2つの被加工物の表面を同一のコーティング材料または異なるコーティング材料で同時にコーティングできる。別の実施例では、穴は、ガス分配インジェクタおよびアノードホルダとして機能する内側の金属管の長さに沿って位置する。セラミックライナを内側の金属管の中に設けてもよく、このセラミックライナ内に導電性ワイヤがある。内側の金属管(10)をカソードとしてバイアスしてもよく、上記内側のワイヤはアノードとしてバイアスされる。ホローカソード効果が、コーティングされている1つまたは複数の表面に隣接するすべての空間に与えられる。いくつかの応用例では、コーティング中の異なる表面が異なる電圧でバイアスされる(20)。
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加工部材の表面を被覆するためのシステムは、前記加工部材をアノードに対して負にバイアスするように加工部材とアノードに接続するためのバイアスシステムと、加工部材の内部を真空にするための真空源とを含む。処理用材料を含有するガスを前記加工部材に導入するために、ガス供給部が使用され、加工部材の内部に中空陰極効果を確立するように、制御システムが、バイアスシステムと真空源とガス供給部とを制御する。1対の結合ヘッドが、3本の軸の1つまたは複数において移動可能な関節式アームの上に支持され、取外し可能なシールドを含んで、ヘッドとアノードを受け入れるためのアノード取付け部とを保護する。関節式アームによって、システムは複数の異なる形状と異なるサイズの加工部材に対処することができ、同時にシールドは堆積工程中に結合ヘッドを保護する。 (もっと読む)


電極組立品は、1つまたは複数の出口を有するシールドによって囲繞された電極材料のコイルと、前記シールドから出る前に前記コイルの軸X−Xに沿って誘導される遮蔽ガスの供給とを備える。 (もっと読む)


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