【課題】材料の定量分析の方法。
【解決手段】材料上に電子ビームを衝突させる材料の定量分析の方法及び装置を説明する。この方法は、電子ビームとの相互作用による、材料の第一の領域から受け取った低損失電子（ＬＬＥ）を検出し、対応するＬＬＥデータを生成するステップを含む。この方法はさらに、電子ビームとの相互作用による、材料の第一の領域と重なる第二の領域から受け取ったＸ線を検出し、対応するＸ線データを生成し、ＬＬＥデータをＸ線データと一緒に分析して第一の領域の組成を表す組成データを生成するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】電子ビームを用いて１つ又はそれよりも多くの処理条件下で多層構造からＸ線を励起する提案構造解析処理の自動最適化の方法を提供する。
【解決手段】提案構造解析処理の実行可能性を判断する方法。この処理は、多層構造からのＸ線の電子ビーム励起を伴っている。本方法は、１つ又はそれよりも多くの組の処理条件に従って多層構造のＸ線励起応答を表す予測Ｘ線データを発生させる段階を含む。Ｘ線データは、層の構造及び組成を定める構造データを用いて発生される。多層構造に対して提案構造解析処理を行う実行可能性を判断するために、構造データの変更がＸ線データに与える影響が、次に、１つ又はそれよりも多くの所定の実行可能性基準に従って解析される。 （もっと読む）