カソード（２）と、カソードに対して環状に配置されそのカソードから離間して構成されたアノード（１）と、グロー放電によってカソードで電子を生成する手段と、少なくとも１つの開口（２５）を内部に有する抽出プレート（３）であって、その開口を通じて、生成した電子を使用時に抽出できる抽出プレートとを備える、プラズマブリッジ中和装置（１０）。
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荷電粒子ビームを生成する装置であって、ドア（１０６）を有するイオン源プラズマチャンバ（１０４）と、前記イオン源プラズマチャンバから離れた、前記ドアの表面に取り付けられた加速器（１０２）とを備えている装置。
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可動マウント（１１２、１１４）に取り付けられた少なくとも１つの電極（１０２、１０４、１０６）を備える、イオンビーム加速装置（１００）。
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ａ）近位側および遠位側を有し、その中を貫通するアパーチャを少なくとも１つ有する第１の電極であって、前記アパーチャの壁面が、該第１の電極の遠位側の前記アパーチャの半径が該電極の前記近位側の前記アパーチャの半径よりも大きくなるように形成されている第１の電極と、ｂ）前記第１の電極の前記遠位側に隣接するがそこから間隔をあけて配置され、その中を貫通するアパーチャを少なくとも１つ有する第２の電極と、ｃ）前記第２の電極に隣接しかつそこから間隔をあけて配置され、その中を貫通するアパーチャを少なくとも１つの有する第３の電極と、を備え、各電極の前記少なくとも１つのアパーチャが、他の電極の対応するアパーチャに対して揃えられているイオンビーム加速装置であって、前記電極は、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電位差が生じ、かつ、前記第２の電極と前記第３の電極との間に電位差が生じるように配置されている、イオンビーム加速装置。
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