【課題】下向き式ガラス薄型化装置及びこれを用いた薄型化システムを提供する。
【解決手段】少なくとも１枚の基板を垂直に固定させる固定部と、前記基板の垂直上部に設けられ、前記基板の表面に沿ってエッチング液を流下させるノズル部と、を備えてなる下向き式ガラス薄型化装置を提供する。ここで、前記ノズル部は、基板の垂直上部側に複数設置され、また、ノズル部から供給されるエッチング液があふれて流れながら基板の表面に沿ってエッチングがなされるように特有の収容部、エッチング液通過スリット及びガイド部を備え、エッチング液の過度な流出を防ぐための緩衝隔壁を備える。 （もっと読む）