【課題】非測定物の見かけの形状をできるだけ歪ませることなく形状計測できると共に、長い物や連続的に移動する物であっても形状計測できる非接触形状計測装置を提供する。
【解決手段】非接触形状計測装置は、長手方向であるｘ方向に沿ったライン状光源を有する照明装置であって、前記ｘ方向に垂直なｙ方向に沿って光強度が単調に変化する光強度パターンを有する光を被測定物に対して照射する照明装置と、前記ｘ方向に沿った１ラインごとに、前記被測定物からの反射光を画像信号として取り込むラインセンサカメラと、得られた前記画像信号に基づいて、前記被測定物の各箇所からの反射光の光強度を算出し、前記ｙ方向に沿った前記照明装置の光強度パターンにおけるｙ方向の位置と光強度との関係に基づいて前記被測定物の各箇所の高さを算出する演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】非測定物の見かけの形状をできるだけ歪ませることなく形状計測できると共に、長い物や連続的に移動する物であっても形状計測できる非接触形状計測装置を提供する。
【解決手段】非接触形状計測装置は、被測定物に対して、一方向に沿って光強度が周期的に変化する複数の位相パターンから一つの位相パターンを選択して位相シフトさせながら、前記選択した位相パターンを有する光を照射する照明装置と、選択した前記位相パターンごとに、前記被測定物からの光を画像信号として、前記一方向に垂直な方向に沿った１ラインごとに取り込むラインセンサカメラと、選択した前記位相パターンごとに得られた前記画像信号に基づいて、前記被測定物の各箇所の位相を算出し、前記位相に基づいて前記被測定物の各箇所の高低差を算出する演算部と、を備える。 （もっと読む）