【課題】連続反応工程で、反応回数または反応規模に係わりなく一定の再現性をもつ感光性高分子を製造する方法を提供する。
【解決手段】既存のバッチ反応とは異なり、連続的に反応が行われるように工程を構成することによって、常に、一定の組成を持つ製品を合成することができ、量産するにおいても製品のばらつきをなくすことができる。すなわち、モノマー成分と、開始剤とを、一定の速度で反応器に投入して重合反応を行う段階と、前記反応が行われている間、前記反応器から生成物を一定の速度で排出させる段階とを含む感光性高分子の製造法である。 （もっと読む）

【課題】フーリエ変換近赤外線分光学（Fourier Transform Near-Infrared Spectroscopy；ＦＴ−ＮＩＲ）を用いた感光性樹脂コポリマーの組成分析方法を提供する。
【解決手段】２種以上のモノマーを様々な比率で混合して得た混合物から、フーリエ変換近赤外線分光学（ＦＴ−ＮＩＲ）を用いた分析により、前記各々のモノマーに対する検量線を作成した後、前記２種以上のモノマーからなる分析しようとする感光性樹脂コポリマーをＦＴ−ＮＩＲ分析により得られた値を前記検量線に代入して、コポリマーの組成を算出することを特徴としていて、このような本発明の分析方法によると、様々なモノマーが混合してなるフォトレジスト用感光性樹脂コポリマーにおけるモノマーの組成をより便宜で、かつ、再現性を持って分析することができる。 （もっと読む）