被加工物１００の表面を選択的に改質するために提供された方法及び装置である。被加工物１００の上部表面１３０と優先的に接触する被加工物表面作用装置１２０を用いる実施形態では、上部表面１３０の化学的改質は、フィールド領域１３０のキャビティ又はリセス１３２の表面に影響することなく、被加工物１００の所望のフィールド領域１３０上で実行される。被加工物表面作用装置は被加工物１００の表面１３０を形成する物質と化学的に反応性である化学活性物質１４０を含む。化学的活性物質１４０は被加工物１００の表面１３０と接触して表面を化学的に改質する薄膜又はコーティングの形態であってよい。ある実施形態では被加工物表面作用装置はローラ又は半透過性膜等の固相アプリケータの形態であってよい。被加工物表面を改質した後、被改質表面に物質が選択的に堆積されてよい。
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