物品を過酸化水素とオゾンに露出して物品を滅菌する方法が開示される。物品を、真空で、過酸化水素の蒸発水溶液に露出し、オゾン含有ガスに露出する。この露出は滅菌雰囲気の水蒸気含量を減少させずに行い、水蒸気含量は、過酸化水素溶液の水性溶媒と、過酸化水素の水と酸素への分解から得られる。滅菌チャンバが封止状態のままである間に、滅菌雰囲気のあらゆる成分の除去なく完全な滅菌プロセスが行われる。チャンバは、チャンバ雰囲気の温度で水性過酸化水素の蒸発を生じさせるのに十分な第１真空圧に排気される。次に、そのチャンバは、滅菌プロセスの残り部分で、かつ、全ての滅菌剤注入サイクル中に密封される。チャンバを密封状態に維持し、後続のオゾン滅菌段階中にチャンバ内に過酸化水素と分解生成物を維持して、滅菌効率を増し、過酸化水素とオゾンを組み合わせて使用することで予想の滅菌剤量と滅菌サイクル時間よりも著しく少なく使用できる。
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滅菌方法であって、−滅菌室を設けるステップと、−滅菌室内に物品を配置するステップと、−予め選択した真空圧の真空を滅菌室に適用するステップと、−滅菌室内の滅菌雰囲気を加湿するステップと、−滅菌雰囲気を４０℃超及び最高６０℃の温度に維持するステップと、−オゾン含有ガスを滅菌室に供給するステップと、−予め選択した処理時間の間滅菌室をシール維持するステップと、−滅菌室内の真空を解放するステップとを含む滅菌方法が開示される。
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