ソーラーウエハ（２）のマウントディバイスであって、細長いウエブ（３）を有する少なくとも１つの櫛状ホルダ（１）を有し、細長いウエブ（３）の長手方向に延びる部分に沿って等間隔に配置された複数の櫛歯要素（４）が備えられており、互いに向き合う隣接する２つの櫛歯要素（４）の間に、少なくとも１つの凹部（５または６）が形成されており、凹部は、ソーラーウエハ（２）を挿入する接触表面（７）及びガイド表面（８）からなる。マウントディバイスにソーラーウエハを確実に保持且つマウントするために、少なくとも１つの櫛状ホルダ（１）の細長いウエブ（３）の隣接する２つの櫛歯要素（４）の間に、マウント・ギャップ（９）が備えられている。マウント・ギャップの輪郭は、互いにズレた２つの凹部（５または６）による任意の間隔（ｂ_H）と、櫛歯要素（４）の総奥行き（ｔ_ges）よりも短い奥行き（ｔ₁）または奥行き（ｔ₂）を有する接触表面（７）及びガイド表面（８）からなり、奥行き（ｔ₁）及び奥行き（ｔ₂）は、合わせて櫛歯要素（４）の個々の総奥行き（ｔ_ges）を形成し、輪郭（ｕ_A1またはｕ_A2）は、マウント・ギャップ（９）の輪郭（ｕ_S）の接触表面（７）を含む平面（１３）に対して鋭角（α）をもって傾斜して延びる平面（１２）内に位置するウエブ寄りに傾斜表面（１１）を有する溝部（１０）を有し、ソーラーウエハ（２）の下端縁（２１）が、輪郭（ｕ_A1またはｕ_A2）に含まれる溝部（１０）の傾斜表面（１１）と接触するまで、重力によって滑って予め決められた位置に移動する。この位置において、マウント・ギャップ（９）の輪郭（ｕ_S）に含まれる接触表面（７）の垂線を中心にして櫛状ホルダ（１）を予め決められた鋭角（φ）回転させている間、接触表面（７）と平面接触するように、ソーラーウエハ（２）の表面（１３）が接触表面（７）と向かい合わされている。このとき、ソーラーウエハ（２）の接触表面（７）から離れた側の表面（２２）と、接触表面（７）と平行に延びるマウント・ギャップ（９）の輪郭（ｕ_S）に含まれるガイド表面（８）との間には公差（１４）が同じ位置に形成される。 （もっと読む）

本発明は、積み込みの難しいシリコンベースのウエハ（２）のような二次元的な部品を非接触で保持するベルヌーイ・グリッパ（１）からなるグリッパであって、制御可能なロボットアーム（３）に接続されたクランプ・リング（４）と、ラッパ状部品（５）によってクランプ・リング（４）に接続され且つラッパ状部品（５）とバッフル・プレート（６）を通る流系（８）とつながるグリップ・フェイス（７）を有し、ベルヌーイ・グリッパ（１）に対して過剰圧力がかかると、グリップされるウエハ（２）を吸着させるために、バッフル・プレート（６）のグリップ・フェイス（７）に負圧が生じるバッフル・プレート（６）と、グリップ・フェイス（７）で一体化され且つグリップ・フェイス（７）に吸着されたウエハ（２）を滑らないようにする支持リング（１０）のゴム引きされた支持面（９）と、グリップ・フェイス（７）に吸着されたウエハ（２）を検知するセンサ（１１）とを備えるグリッパにに関するものである。グリッパのグリップ・フェイスにグリップされるウエハの極めて衝撃かからないアタッチメントを可能にするために、本発明は、グリッパ（１）に周方向に合わされたダンピング・デバイス（１２）を更に備え、ダンピング・デバイス（１２）の輪郭が、グリッパ（１）を平面方向から見た場合に、周方向にグリッパ（１）の輪郭を越えて突出し、ダンピング・デバイス（１２）が、グリップ・フェイス（７）に向かってウエハを近付ける吸引の間、ウエハ（２）が支持リング（１０）のゴム引きされた支持面（９）に対して衝撃のかからない方法で支持されるように、グリップされるウエハ（２）のためにダンピング抵抗を形成する。 （もっと読む）

本発明は、ウエハのバッチをプロセスボートに装填して一方の面にドーピングするためのウエハ、特にソーラウエハのスタックを形成する方法に関するものであり、これは、上方面積み重ね開口を備えた水平面部にクランプされるように所定の偶数個のウエハが連続的に移送キャリアの受け入れスロット内に供給される。パッケージ密度を高めて、拡散工程の処理量を高めるために、移送キャリアに連続的に供給されたウエハの半数分が、第１のウエハスタックの形態として、移送キャリアから移送キャリアの外側に位置するマウントされた待機位置に出され、そして、移送キャリアに連続的に供給されたウエハの残り半数分が、第２のウエハスタックの形態として、移送キャリアから出され、第２のウエハスタックは、該第２のウエハスタックのウエハが待機位置にある第１のウエハスタックのウエハの位置と１８０°回転した位置に到達するように回転された状態とし、第２のウエハスタックが第１のウエハスタックの待機位置に続いて移動され、それと整列し、第１のウエハスタックとフィッティングを形成するように共に結合して、第１及び第２のウエハスタックの相互に組み合わされるウエハのドーピングがされない面が同時且つ形状一致で相互に当接することにより、それぞれパッケージ状の背中合わせのウエハバッチ（ＢＴＢウエハバッチ）を形成し、そして、ＢＴＢウエハバッチが移動グリッパにより、フィッティングの形態としてピックアップされて、プロセスボートに装填される。 （もっと読む）