【課題】光透過性を有する被測定物の形状を、精度良く迅速に測定する方法を提供する。
【解決手段】光照射手段１と光検出手段２を被測定物３の表面３ａ側に配置し、既知形状の反射面４ａを有する反射手段４を被測定物３の裏面３ｂ側に配置する。次に光照射手段１から測定光５を表面３ａに照射する。測定光５のうち、表面３ａで反射した第１の反射光８と、被測定物３を透過して裏面３ｂで反射した第２の反射光９と、被測定物３内を透過した透過光５のうち反射面４ａで反射された第３の反射光１０とを含む反射干渉光７を光検出手段２で検出する。そして反射干渉光７の光強度スペクトルを分析し、第１および第２の反射光８、９からなる第１の干渉光成分から被測定物３の厚みｔを算出し、第２および第３の反射光９、１０からなる第２の干渉光成分から裏面３ｂと反射面４ａ間の距離ｄを算出し、厚みｔと距離ｄに基づいて被測定物３の形状を求める。 （もっと読む）

【課題】高価な積分球を用いることなく、積分球方式と同等の測定結果を得ることができる、測定効率のよい、光源の光学特性の測定装置および測定方法ならびに該測定装置を備えた検査装置を提供する。
【解決手段】光源と、光源から放射される光を直接受光する受光部を有する複数の受光手段と、受光手段支持手段とを準備し、光源を仮想球体の中心に配置し、各受光手段の受光部のうち少なくとも２つを、仮想球体に内接する仮想正多面体の各面の面中心、各辺の中点または各頂点に対応する位置もしくはこれらのいずれかの組み合わせに対応する位置に配置し、光源を発光させ、各受光手段の出力を検出して、光源の分光スペクトル情報を抽出し、この分光スペクトル情報を演算処理して、光源の光学特性を解析する。 （もっと読む）