【課題】本発明は、レーザを用いてハーフトーンマスクの欠陥を除去し、欠陥部領域に遮断膜を効率良く形成でき、遮断膜の膜厚を調節し、ペリクル膜が形成された後も欠陥の除去が可能な機能とともに、リアルタイムで透過率を調節してリペア工程を行うことができるようにし、リペア部位の透過率の均一性を保障できるリペア方法及びそのシステムに関する。
【解決手段】本発明のハーフトーンマスクリペア方法は、原料物質にレーザを照射して半透過層の欠陥部位に蒸着することにより、ハーフトーンマスクの半透過領域の欠陥部位をリペアする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、表示装置の揮点不良修理方法に関するもので、より詳細には、揮点不良を有する色フィルタによって吸収スペクトルの高い波長帯のレーザを選択的に使用することによって効果的に修理可能な表示装置の揮点不良修理方法に関するものである。
【解決手段】本発明は、偏光板が付着された表示装置の揮点不良を修理する方法において、揮点不良を有する色フィルタがレッド（Ｒ）領域である場合、波長が４００〜５５０ｎｍであるレーザを照射し、前記色フィルタがグリーン（Ｇ）領域である場合、波長が４００〜４８０ｎｍ又は６００〜７５０ｎｍであるレーザを照射し、前記色フィルタがブルー（Ｂ）領域である場合、波長が５２０〜７５０ｎｍであるレーザを照射することのうち少なくともいずれか一つ以上を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、表示装置の揮点不良修理方法に関するもので、より詳細には、各画素の吸収スペクトルの高い波長帯のレーザを用いて揮点不良を非常に効果的に修理できる表示装置の揮点不良修理方法に関するものである。
【解決手段】本発明は、偏光板が付着されていない表示装置の揮点不良を修理する方法において、揮点不良を有する色フィルタがレッド（Ｒ）領域である場合、波長が２７０〜５５０ｎｍであるレーザを照射し、前記色フィルタがグリーン（Ｇ）領域である場合、波長が２７０〜４８０ｎｍ又は６００〜７５０ｎｍであるレーザを照射し、前記色フィルタがブルー（Ｂ）領域である場合、波長が２７０〜３９０ｎｍ又は５２０〜７５０ｎｍであるレーザを照射することのうち少なくともいずれか一つを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、表示装置の揮点不良修理方法に関するもので、より詳細には、レーザを用いて表示装置の揮点不良を効果的に修理することができる表示装置の揮点不良修理方法に関するものである。
【解決手段】本発明は、ブラックマトリックスを含む表示装置の揮点不良を修理する方法において、レーザを用いて揮点不良を有する色フィルタ、又は前記色フィルタとガラスとの間にギャップを形成し、レーザを用いて前記色フィルタに隣接するブラックマトリックスを分解することを含む。 （もっと読む）

本発明は、液晶表示装置の金属パターンが切断された場合、レーザーを用いて上部の絶縁膜にホールを形成し、ホールの間に金属薄膜を形成して切断部位を連結するための金属薄膜形成装置およびその方法に関する。本発明の金属薄膜形成方法は、基板上に蒸着された金属パターン４１が切断された場合、切断された金属パターンを連結するためのもので、第１レーザーを照射して金属パターン上の絶縁膜を除去し、薄膜が蒸着できる第１コンタクトホールと第２コンタクトホール４４を金属パターンに形成し、第２レーザーを照射して前記コンタクトホールに金属薄膜４６を充填し、前記第２レーザーを照射して前記ホールの間に金属薄膜を形成する。
（もっと読む）

薄膜蒸着装置、特に薄膜蒸着装置に薄膜を形成する金属材料を供給する原料ガス供給装置、及び薄膜蒸着の後、残留ガスを処理する残留ガス処理処置を開示する。薄膜蒸着装置の原料ガス供給装置は、薄膜蒸着対象体と所定の離隔間隔で配置され、薄膜を蒸着する薄膜蒸着用チャンバーに金属材料を搬送するための搬送ガスを供給する搬送ガス供給部；前記金属材料を保存し、前記金属材料を昇華させて前記搬送ガスと混合させる原料ガス発生部；及び前記搬送ガス供給部と原料ガス発生部を連結し、搬送ガスと原料ガスを前記薄膜蒸着用チャンバーに移送し、搬送ガスまたは原料ガスを金属材料の昇華点以上に維持するためのヒーターが形成されている搬送ガス注入ライン；を含む。
（もっと読む）

本発明は、液晶セル内の異物により発生する光漏れ現象を除去する黒化装置および方法に関する。本発明に係る液晶パネルの黒化装置は、レーザー発振部１００、ビーム伝達部１２０、およびスキャン部１３０を含んでなる。前記レーザー発振部は、多数のレーザー発振器、前記レーザー発振器から発振されたビームの出力強さを調節するビーム調整手段、前記レーザービームのプロファイルを変換するビーム形成手段、および前記レーザービームを選択的に透過または反射する特性を有するハフミラーを含む。前記ビーム伝達部は、前記レーザービームの方向を転換する。前記スキャン部は、前記レーザービームが液晶パネルにおける黒化希望部位に照射されるように前記レーザービームの方向を調節する。
（もっと読む）