【課題】肌理のある面の特性、特に光学的特性を決定するための装置の方法および装置。
【解決手段】被検査面上に放射線を照射する工程と、面上に照射され、面で反射した放射線の少なくとも一部を、面に入射した放射線の位置分解評価を可能にする検出装置を用いて検出する工程と、検出された放射線から、面の肌理を特徴付ける第１の特徴値（Ｐ）を決定する工程と、検出された放射線から、面のさらなる光学的特性を特徴付ける第２の特徴値（ΔＥ）を決定する工程と、第１の特徴値（Ｐ）および第２の特徴値（ΔＥ）に基づいて結果値（ΔＩ）を決定する工程と、を含む特定の肌理のある面の特性を決定するための方法。 （もっと読む）

【課題】面の機械的な測定を行うことなく、面、特に肌理のある面を客観的に評価する。
【解決手段】被検査面（１０）上に放射線を照射する工程と、面（１０）上に照射され、面（１０）で反射した放射線の少なくとも一部による画像を受ける工程と、記録画像の位置分解評価および画像を特徴付ける少なくとも１つの値（Ｋ）の決定を行う工程と、を含む肌理のある面（１０）の光学的検査のための方法であって、面を特徴付けるパラメータ（Ｇ）は、特徴値（Ｋ）を使用しながらおよび面の（既知または決定された）少なくとも１つのさらなる特性（Ｅ）を使用しながらに決定されることを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】検査対象となる表面をより客観的に評価できる光学的特性の特定装置および方法を提供
【解決手段】第１の特定の角度で材料（１０）を照射する第１の放射装置（４）と第１の受光角度で配置され材料（１０）より後方散乱された一部を受光する第１の放射線検出装置（６）とを有する第１の測定装（２）を備え第１の放射線検出装置（６）は第１の放射線検出装置（４）に入射した放射線の強度に特有の第１の特徴信号を発する装置（１）であり第２の特定の角度で材料（１０）を照射する第２の放射装（４、１４）とある受光角度で配置され第２の放射装置（１４）により材料（１０）より後方散乱された一部を受光する第２の放射線検出装置（１６）とを有する第２の測定装置（１２）を備え第２の放射線検出装置（１６）は入射した放射線の局所的分解による評価を可能にし第２の放射線検出装（１６）に入射した放射線に特有の少なくとも１つの第２の特徴信号を発する （もっと読む）