【課題】 鏡面の曲面を有する対象物に対する、欠陥検出の支障となる照明の映り込みを抑制し、確実な欠陥検出を可能とする画像検査装置を提供する。
【解決手段】 エリアカメラ本体１を覆うように面状照明装置３ａ、３ｂを配置し、面状照明装置３ａ、３ｂの前面に拡散板４を設け、検査対象物に照明を映り込ませ、欠陥を浮き出させることを特徴とするカメラユニットを、垂直多関節ロボットの先端に取り付け、検査対象物とカメラユニットの位置関係を、常に一定に保持することで、鏡面の曲面を有する検査対象物の表面に存在する欠陥を検出する。 （もっと読む）