本発明は優れた耐久性及び信頼性の電気的接続を新空室（２２５）の壁（２７）を通って形成するための電気的貫通接続構造（２００）を提供する。電気的貫通接続構造（２００）は、開口端（２１７）及び閉口端（２１８）を持つチューブ状部材を備える。少なくとも１つの導電体（２０１）が閉口端（２１７）を通って伸びており、閉口端（２１７）に真空密閉接合部（２１４）によって固定される。接合部（２１４）は、開口端（２１７）からの視野方向に含まれないように構成されている。このようにすることで、衝突物（２２０）及び直熱放射（２２１）が接合部（２１４）に直接当たることを防ぎ、問題を起こし得る接合部（２１４）の汚染にかかる時間を延ばす。 （もっと読む）