【課題】 粉体を真空、あるいは密閉雰囲気中の供給対象に微少量安定的に供給するのに適した粉体供給装置を提供する。
従来は、大気中での使用を前提とした大型で開放的な構造であったため、密閉構造を適用するのが困難であった。 また、粉体中で回転する可動部品や軸、摺動部品を多く持ち、噛みこみやすい金属粉体や金属酸化物粉体を安定的に供給するのに適していなかった。
【解決手段】粉体を貯留するホッパーの開口部から粉体を定量排出させるため、粉体がホッパー以外の、他のメカニズムに触れることなく供給対象に移送されることが可能になる。
ホッパーに直接、加速度あるいは、角加速度を与えて粉体を排出させ、この頻度、強度を可変することで供給速度を制御するようにした。
以上により、密閉しやすいコンパクトな構成と、可動部が直接粉体と接触しないことによる稼働の安定性を得られる。 （もっと読む）