【課題】クリーンルームの内部湿度を目標湿度に維持するクリーンルームの水噴霧加湿制御方法及び加湿制御システムを提供する。
【解決手段】この方法は、各制御グループで循環空気の湿度変化を湿度センサーによって検出する段階、前記湿度センサーで検出された湿度を制御部に送り出す段階、送り出された信号を受けて制御部で演算し、加湿可否を判断する段階、加湿の要求によって加湿部を作動させることで微粒化した噴霧水を供給する段階、それぞれの制御グループの湿度に対する情報を中央コンピューターに連結してクリーンルームの湿度情報を受信する段階を含む。 （もっと読む）