熱酸化装置は、プロセス流中のオフ‐ガスを、実質的に酸化チャンバの内部容積内で、熱的に酸化することを提供する。本発明の熱酸化装置は、炎の存在無し、または、炎中で燃焼させられる燃料のマイナー部分だけで処理される。
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