【課題】ＡＦＭ測定方法及びＡＦＭ測定システムが提供される。
【解決手段】光源から入射光が照射される基板の上の複数個の地点にカンチレバーの先端を提供し、前記入射光によって前記カンチレバーの先端と前記基板との間で発生された散乱光の強度を測定し、前記散乱光の強度をデータ処理部へ入力して前記入射光の強度が最高である地点を探す。前記カンチレバーの先端を前記入射光の強度が最高である地点へ移動させる。 （もっと読む）

本発明は製品が適正保存温度以上の高温環境に晒される状態で流通されたり、使用され製品の品質に重大な影響をおよぼす場合、消費者が容易に品質変化の可能性の可否を確認することができるように製品包装材に取り付けできるように考案された高温露出の履歴確認表示物に関する。
本発明の高温露出の履歴確認表示物は有色、または無色の一定の形態を持つ物質１２（以下“内部物質”と称する）を“内部物質”と他の色相、または無色の物質１１（以下“外部物質”と称する）が立体的に囲んだ形態で構成され、これを再度流出防止のために透明物質１３で密封する形態で構成される。したがって、本発明の温度変化の履歴確認表示物が取り付けられる冷凍、または冷蔵製品が保存温度以上の高温環境に長時間晒されれば、まず第１に“外部物質”が解凍されて液状になり、次に“内部物質”と“外部物質”とが自然に混合された後、また保存温度以下の環境に到達しても“内部物質”の初期の形態が壊されて消費者が肉眼で容易に温度変化の履歴を確認することができる。
（もっと読む）

【課題】本発明はフォトマスク修理方法を提供する。
【解決手段】修理用原子間力顕微鏡探針をフォトマスクの欠陥部分に位置させ、前記修理用原子間力顕微鏡探針を往復動作させることによって、前記フォトマスクの欠陥部分を除去する。前記修理用原子間力顕微鏡探針による前記フォトマスクの修理過程は、電子顕微鏡で観察する。さらに前記修理用原子間力顕微鏡探針とは異なる観測用原子間力顕微鏡探針を用いて、修理後の前記フォトマスクの形状をその場（ｉｎ−ｓｉｔｕ）で確認する。
（もっと読む）