【課題】塗布液の均一な薄膜状噴流を得るための形状の特定が容易であり且つ塗布液の粘性或いは流動性が変化してもそれに容易に追随して均一な塗布液の薄膜状噴流を得ることのできるスリットノズル装置を提供する。
【解決手段】塗布液の薄膜状噴流を最終的に噴出するスリット開口と線型の塗布液最終貯室とを有するノズルブロックと、複数のオリフィス開口を有するオリフィスプレートと、線型の塗布液中間貯室と複数のオリフィス開口と線型の塗布液受入れ貯室とを有する中間ブロックと、塗布液注入口を有する入口ブロックとが直列に重合されてなるスリットノズル装置。 （もっと読む）