荷電粒子システムを開示し、この荷電粒子システムは、第１電圧源、第１電圧源から電気絶縁された第２電圧源、第１電圧源に電気接続された荷電粒子源、及び第２電圧源に電気接続された抽出装置を含む。この荷電粒子システムに関連する方法も開示する。
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本発明は、(ａ)支持構造体(１０８)の第１の面上に配置されている第１の材料層(１１０)であって、この第１の材料層はこれに入射荷電粒子(１０４)が当るのに応答して二次電子を発生するように構成されているとともに、開口(１１２)を有しており、この開口は入射荷電粒子の一部がこの開口を通過するように構成されている当該第１の材料層と、(ｂ)支持構造体の第２の面上に前記第１の材料層から例えば、０．５cm以上の距離だけ離間されて配置されている第２の材料層であって、この第２の材料層は、荷電粒子が前記開口を通過してこの第２の材料層に当るのに応答して二次電子を発生するように構成されている当該第２の材料層とを具える装置、システム及び方法を提供するものであり、装置は荷電粒子検出器とする。
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冷却式荷電粒子源及び方法を開示する。いくつかの実施形態では、荷電粒子源を、固体窒素等の固体クライオジェンに熱結合する。熱結合は、荷電粒子源を所望の低温で維持するための良好な熱伝導率を提供するよう設計することができる。 （もっと読む）

荷電粒子源、例えばガスイオン源の先端の頂部を加熱するシステム及び方法であって、先端頂部が発生させた光を検出するよう構成した検出器と、荷電粒子源及び検出器と結合したコントローラとを備え、コントローラを、検出器が検出光に基づき先端頂部の加熱を制御できるようにした、システム及び方法。 （もっと読む）

概して、一態様において、本開示は、試料を撮像する方法及びシステム、例えば荷電粒子を用いて試料を撮像する方法及び装置を特徴とする。 （もっと読む）

荷電粒子源（２０１０）及び荷電粒子光学コラム（２０４０）を含む荷電粒子光学系において荷電粒子ビーム（２１００）を位置合わせするシステム（２０００）及び方法であって、コラムの少なくとも１つの電極（２０５０、２０６０）が、複数のセグメントを含み、セグメントの少なくとも若干に異なる電位を印加して、荷電粒子源（２０１０）の傾斜誤差及び／又は変位誤差を補正し、またコラム（２０４０）の軸線（２０４５）に沿って粒子ビーム（２１００）を位置合わせする、システム（２０００）及び方法を開示する。代替的に、磁界発生素子が位置合わせに用いることができる。
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イオン顕微鏡法およびシステムを開示する。概して、本システムおよび本方法により、イオンビームの高安定性を得ることができる。一方法によれば、ガスの最良結像電圧よりも少なくとも５％高い電圧で動作するチップを有するガス電界イオン源を用いて、イオンビームを生成する。その他の方法として、混合気体を用いてイオンビームを生成する方法も開示する。 （もっと読む）

本発明は、チップ（５０４）と、ガス粒子をチップに供給するように構成された少なくとも１つのガス注入口（５１２ａ−ｆ）と、非イオン化ガス粒子（１８２ａ−ｄ）を吸着し、脱着するガス粒子を導いて前記チップに向けて伝播させるように配置された曲面（５１４）を有する素子（５１６）とを備える荷電粒子システムに関するものである。荷電粒子システムは、チップに接続され、チップの頂端部における電界を調整する構成された界磁分流器を備えることができる。
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イオン源およびシステムおよび方法が開示されている。幾つかの実施形態では、イオン源、システムおよび方法は、不都合な振動を比較的わずかにしか示さず、および／または不都合な振動を十分に減衰することができる。これにより、性能を向上させることができる（例えば、確実性、安定性などを増大することができる）。
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本発明はイオンビーム顕微鏡を用いた試料検査に関するものである。幾つかの実施形態では、本発明は、各検出器は試料についての異なる情報を提供する複数の検出器を用いるものである。
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