【課題】安価な方法で薄膜型リチウムイオン二次電池を形成する方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、ドープシリコン、金属等の導電性基板１０上に、局所的に貫通開口部を備える絶縁層１２を形成するステップと、陽極コレクタ層１８、陽極活物質層２０、電解質層２２および陰極活物質層２４を備える積み重ねを堆積するステップと、このスタックは絶縁層１２の厚さより小さい厚さを有し、開口の中に残る空間を満たす陰極コレクタ層２８を形成するステップと、絶縁層１２の上部露出面を平坦化するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】全固体平面薄膜型リチウムイオン二次電池を安価に形成するための方法を提供する。
【解決手段】シリコン又はシリコン酸化物からなる基板１０上に溝を形成するステップと、陽極コレクタ層１６、陽極層１８、固体電解質層２０および陰極層２２を備えた積み重ねを堆積するステップと、この積み重ねは溝の深さより小さい厚さを有し、溝の中に残る空間を満たす陰極コレクタ層２６を形成するステップと、陰極コレクタ層２６の露出表面を平坦化するステップとを含む事を特徴とし、陽極側リード４２と陰極側リード４０は同一面側に配置される。 （もっと読む）