【課題】固体レーザー(1)と、ビーム整形レンズ(3）と、振動ミラーのモーター(5、7)と、振動ミラー(4、6)と、フィールドレンズ(9)と、移動プラットフォーム(10)と、工業制御用コンピューター及び制御用ソフトウェア(8)と、を備えた固体レーザーリフトオフ装置である。
【解決手段】ビーム整形レンズ(3）は固体レーザーの後方に配設され、固体レーザー(1)から射出されるレーザービームを必要なレーザービーム形状に整形する。振動ミラーのモーター(5、7)はフィールドレンズ(9)の前方に配設され、制御用ソフトウェア(8)の命令により、振動ミラー(4、6)の作動を制御し、異なるレーザービームスキャンパスを実現する。上記固体レーザーリフトオフ装置のリフトオフ方法で、小レーザースポットを用いてスキャンすることにより、GaN（窒化ガリウム）とサファイア基板を非破壊リフトオフすることが実現できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は固体レーザーを利用してGaN（窒化ガリウム）とサファイア基板を非破壊リフトオフする方法を公開する。
【解決手段】周長3〜1000μm、且つ2つの最も遠い角の距離又は最も長い直径が400μm以下の小レーザースポットを用いてポイント及びラインごとにレーザースキャンを行い、その小レーザースポット内のエネルギーの分布状況はレーザースポット中心のエネルギーが一番強く、エネルギーが周囲へ次第に弱くなることである。本発明は小レーザースポットの非破壊レーザーリフトオフを実現し、レーザーリフトオフスキャンの方式を改良し、アラインメントマークする必要がない無照準(no aiming)リフトオフ方法を実現し、レーザーリフトオフ加工の過程を簡素化し、効率を上げ、不良率を下げ、レーザーリフトオフ加工の産業化に障害を取り除くことになる。 （もっと読む）