ナノフィルム テクノロジーズ インターナショナル ピーティーイー リミテッドにより出願された特許
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応力を低減したコーティングおよび基材上への該コーティングの蒸着方法
基材上にコーティングを蒸着する方法であって、(a)陰極真空アーク(CVA)蒸着工程を実施することによって、基材上に材料を蒸着する工程、および(b)CVA蒸着を除く物理蒸着(PVD)工程を実施することによって、基材上に材料を蒸着する工程を含み、工程(a)において蒸着された材料の厚さが、工程(b)において蒸着された材料の厚さよりも大きい、方法を提供する。
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基板上へのコーティングの迅速な蒸着方法
(a)カソーディック真空アーク(CVA)蒸着工程を実施することによって基板上に材料を蒸着する工程;および(b)CVA蒸着以外の、化学蒸着(CVD)工程および物理蒸着(PVD)工程の少なくとも1つを実施することによって基板上に材料を蒸着する工程を含む、基板上にコーティングを蒸着する方法を開示する。本方法においては、工程(b)において蒸着された材料の厚さが、工程(a)において蒸着された材料の厚さよりも大きい。
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