【課題】複数の荷電粒子ビームを用いる荷電粒子装置における多光軸磁気レンズの固有の構造上の非軸対称性による非軸対称横磁界及び軸対称磁界の差異を低減し、シンプルでコンパクトな多光軸磁気レンズシステムを提供する。
【解決手段】各サブレンズモジュールの夫々のホールに円形磁気導体リングと円形非磁性体間隙を挿入させる。磁気導体リングと磁気導体板の間には十分な磁気結合が保持され、磁気導体リング内壁上では十分な軸対称スカラーポテンシャル分布が得られる。結果として、共通励起コイルに励起される各サブレンズの磁界はビームのフォーカスに必要な軸対称の磁界成分を適当な程度に留保し、余計な非軸対称横磁界成分をほとんど含まない。さらに、磁気遮蔽管などの磁気遮蔽ものを導入し、各サブレンズモジュールを通過する以前及び以後の荷電粒子ビーム経路上での非軸対称横磁界を取り除く。 （もっと読む）