ユー−ニードル・ホールディング・ベー・フェーにより出願された特許
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マイクロニードル、マイクロニードルアレイ、およびそれらの作製方法
本発明は、単結晶材料の結晶面によって形成される少なくとも3つの壁を有する、単結晶材料製のシャフトと、材料の結晶面によって形成される少なくとも3つの壁を備える、シャフトの端部に結合された先端とを具備するマイクロニードルを提供する。その材料は、好ましくはシリコンである。先端の壁のうちの2つは、シャフトの2つの壁と同じ結晶面によって形成される。これらの2つの壁は<111>結晶面によって形成される。好ましくは、先端の3つの壁が<111>結晶面によって形成される。
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