説明

株式会社ニッケテクノシステムにより出願された特許

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【課題】簡単な構成で、試料を加熱しつつ正確に計測することが可能な計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、試料Aを保持する位置または試料Aに対向する位置に配置され、透明基板121と透明基板121の表面に設けられた透明導電膜122を有する透明部材12と、試料Aを撮影する光検出部22と、透明部材12の透明導電膜122に印加する電圧を制御することにより、透明部材12の温度を制御する熱制御部42とを備える。 (もっと読む)


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