【課題】イオン交換法により、超高純度の過酸化水素水溶液が得られる精製方法及び装置を提供する。
【解決手段】下記の工程を順次実行して超高純度の過酸化水素水溶液を得る方法及び装置。（Ａ）過酸化水素原料液を大孔吸着樹脂を吸着材とする大孔樹脂吸着カラム２で処理し、有機不純物含有量を、有機炭素換算で、２０ｐｐｍに以下とする工程。（Ｂ）前工程（Ａ）により処理された液を、陽イオン交換樹脂カラム３に通し、イオン交換を行なわせる工程。（Ｃ）前工程（Ｂ）により処理された液を、陰イオン交換樹脂カラム４に通し、イオン交換を行なわせる工程。（Ｄ）前工程（Ｃ）により処理された液を、陰イオン交換樹脂と陽イオン交換樹脂との混合物を含む陰陽イオン交換樹脂混合カラム６、７に通し、イオン交換を行なわせる工程。（Ｅ）前工程（Ｄ）により処理された液を、マイクロフィルター８に通し、残存不純物を除去する工程。 （もっと読む）