【課題】絶縁層上に複数のセンサ電極を配列し、該複数のセンサ電極の上面及び側面をパシベーション膜で包み、更に各センサ電極の四辺を金属パターンからなる放電層で囲むようにした静電容量検知型指紋読取りセンサにおいて装置内部の容量検出回路等への静電気の影響を抑制し、装置の信頼性が向上するとともに、装置表面に接触した指の指紋を、安定かつ高感度で検出する。
【課題を解決するための手段】
上記パシベーション膜はシリコンオキシナイトライドをＰＥＣＶＤ法により堆積させて膜厚に形成すると共に、パシベーション膜の上面に上記放電層を設け、更にセンサ電極の四辺を囲む放電層のうち対向状に並ぶ１又は２組の放電層に電界分布の集中部を形成するようにした静電気容量検知型指紋読取りセンサ。 （もっと読む）