ホスフィン含有ゲルマンを精製して精製ゲルマン製品を提供するための方法及びシステムに関する。本発明の方法は、５０ｐｐｂよりも少ないホスフィンを含有する精製ゲルマン製品を製造する方法であり、ホスフィンを含むゲルマンガスを準備し；前記ホスフィンを含むゲルマンガスを吸収剤に通して選択的に；含まれるホスフィンを吸収させ；及び精製されたゲルマンガスを取り出すことを、含む方法。 （もっと読む）