【課題】速い動作速度、固定位置の対象物、光学測定センサーを用いて光学測定時間を短縮することで、ディスプレイ装置の大面積化、複数の対象物集合体化による製品検査コストの上昇を最小化する高速光学測定装置を提供する。
【解決手段】複数の測定位置を持つ対象物または複数の対象物集合体全体の光の大きさを調節して入射させる対物レンズ部、対物レンズ部から入射した光の光経路を変更する光経路部、光の進行方向を変更する制御信号を出力する制御回路部、入射光を測定する測定センサー、及び前記光経路部で進行方向が変更された光を前記測定センサーの大きさと位置と一致させる接眼レンズ部でなる。 （もっと読む）