【課題】被測定試料中に含まれる元素および放射性物質をそれぞれ特定することができる、蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】
本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線領域（１ｋｅＶ〜５０ｋｅＶ）を計測する蛍光Ｘ線検出器と、γ線領域（５０ｋｅＶ〜１．５ＭｅＶ）を計測するγ線検出器と、分析処理手段とを備える。励起Ｘ線管が、被測定試料に対してＸ線を照射する。蛍光Ｘ線検出器は被測定試料に含まれる元素固有の蛍光Ｘ線を検出し、γ線検出器は核種固有のγ線を検出する。分析処理手段が、蛍光Ｘ線のスペクトルとγ線のスペクトルとを求める。
必要に応じて、分析処理手段は、蛍光Ｘ線のスペクトルに基づいて試料に含まれる元素を特定してその含有量を求め、γ線のスペクトルに基づいて試料に含まれる放射性物質の核種を特定してその含有量を求める。 （もっと読む）