説明

エクシルム・エービーにより出願された特許

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自己クリーニングX線窓構成体は、中間の領域から周囲の圧力の領域を分離している第1のX線透過窓要素と、減圧の領域から中間の領域を分離している第2のX線透過窓要素とを有する。汚染物質は、減圧の領域に面している第2の要素の側面に沈着することが予測される。熱源は、汚染物質を蒸発するために第2の窓要素の一部分を加熱する。第2の要素は、汚染物質が存在する減圧の領域から第1の要素を防護する。圧力気密性の第1の窓要素は、周囲の圧力の領域と減圧の領域との間の大きな圧力差の大部分を支える。本発明の特徴は、汚染物質が中間の領域に侵入する比率を減少することに役立つ。減圧の領域に近い中間の領域の圧力を維持することによって、第2の窓要素の機械的応力は、有毒ガスへの照射と同様に制限され得る。
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