【課題】1以上の窒化物材料を形成するためのＭＯＣＶＤシステム及び製造方法を提供する。
【解決手段】該システムは、中心軸１２８の周りを回転するように構成されているサセプタ１２０、及び該サセプタ上部に、サセプタとは直接接触していない状態で配置されるシャワーヘッド１１０を含む。加えて、該システムは、該サセプタ上に配置され、中心軸の周りを回転し、かつ対応するホルダ軸１２６の周りもそれぞれ回転するように構成されている1以上の基板ホルダ１３０を含む。更に該システムは、該中心部品内部に形成された1以上の第1の入口１０１、1以上の第2の入口１０２、及びシャワーヘッド内部に形成され、かつ中心部品からの距離が該1以上の第2の入口１０２より更に離れて配置される1以上の第3の入口１０３を含む。 （もっと読む）

【課題】エピタキシャル層の均一性に優れた有機金属気相成長装置を提供する。
【解決手段】有機金属気相成長装置は、サセプタ回転システム１００を有する。サセプタ回転システム１００は、回転殻１１２、サセプタ１１０、及び該サセプタ１１０の下部で、回転殻１１０及びサセプタ１１２を駆動して、サセプタ軸の周りを回転するように構成されている駆動部品を含む。加えて、該サセプタ回転システム１００は、サセプタ１１０上に配置され、該サセプタ１１０とともにサセプタ軸の周りを回転し、かつ1以上の基板１４０を支持するように構成されている1以上の基板ホルダ１３０と、基板ホルダを支持するホルダギア１３２、及び1以上のホルダギア１３２と係合し、1以上のホルダギア１３２がサセプタ軸の周りを回転する場合に、1以上のホルダギア１３２をそれぞれ1以上のホルダ軸の周りを回転させるように構成されている中心ギア１２０を含む。 （もっと読む）