【課題】蛍光物質等の標識をすることなく、特定のターゲット物質を迅速、簡便に検出することが可能で、かつ、測定精度が向上されたバイオチップを提供する。
【解決手段】基板上に形成した電極配線をＴｉＯ_２、ＳｉＯ_２などの金属酸化物の絶縁膜で被覆し、この絶縁膜に微細加工技術によって１または複数の微小ウェルを形成し、各ウェルの底部にプローブ物質を固定化したバイオ分子アレイチップを作製する。 （もっと読む）