空洞（６）を有し、カソードとして機能するように構築される中空エレメント（５）を備える装置（１）と、前記中空エレメント（５）の空洞（６）内に少なくとも部分的に配置される前記主電極（７）と、前記主電極（７）を電気的に接地する抵抗（１２）と、カソードの壁を通じて延伸する実質的に誘電体からなるチューブ状素子（２１）と、 接地され、チューブ状素子（２１）の周囲に配置されたリング形状アノード（２５）と、カソード（５）に電気的に接続され、約１０nsで少なくとも８ＫＶのカソードの電位を減少可能な前記活性化グループ（１１）とを備え、プラズマを生成しターゲット（３）に向かって電子流を導くための装置である。 （もっと読む）