【課題】異物混入および大気侵入をともに防止しつつガスを浄化するようなガス浄化装置を提供する。
【解決手段】外部から流入するガスに含まれる異物を除去するプレフィルタ２と、このプレフィルタ２から流入するガスを圧送するブロワ４と、このブロワ４から流入するガスに含まれる異物を除去するＨＥＰＡ (High Efficiency Particulate Air）フィルタ６と、ブロワ４の周囲を覆うとともにクリーニング対象のガスと同じガスが封止される封止部９と、を備えるようなガス浄化装置とした。 （もっと読む）