原子間力顕微鏡画像化（ピーク力タッピング（ＰＦＴ）モード）の改良モードは、既存の原子間力顕微鏡動作モード全てによって達成可能な走査速度を維持しながら、チップ−試料相互作用力を減らすべく、フィードバック変数として力を用いる。試料画像化および機械的性質マッピングは、改善された解像度と高試料処理量で得られ、モードは、気体、流体および真空を含む様々な環境にわたって有効である。使い易さは、熟練ユーザが画像化を監視する必要性を排除することで促進される。
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走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）（２００）は、圧電管への電圧印加によって３平面に移動可能であるプローブ（１４）が装着された圧電アクチュエータベースの管スキャナ（１２）を有する。１組の撓曲部（４０）は管の変位とともに撓曲し、撓曲部に装着された歪み計（７４、７６、７８、８０）が撓曲部の撓曲を測定して、対象物の走査中の管の変位に関するフィードバックを提供する。歪み計と撓曲部は、単一の制約体が自由度毎に提供され、制約体が互いに少なくとも略直交している動的感知フレームまたは配列を構成する。
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