説明

エスエヌユー精密股▲ふん▼有限公司により出願された特許

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【課題】基板に有機物薄膜を蒸着する全体の工程時間を最小化できる平板パネル製造装置を提供する。
【解決手段】少なくとも二つの基板10が処理される複数の工程チャンバー110;第1の方向L1に沿って複数の工程チャンバーの間に配置され、第1の方向に直交する第2の方向L2に沿って直線状に往復移動しながら未処理の基板を工程チャンバーに供給したり、処理が完了した基板を工程チャンバーから排出する移送ロボット123を備える移送チャンバー120;移送チャンバーの一側に結合され、供給される基板を収容するローディングチャンバー130;及び移送チャンバーの他側に結合され、排出された基板を収容するアンローディングチャンバー140;を含み、工程チャンバーの内部では、第2の方向に沿っていずれか一つの基板に工程ガスが蒸着されると同時に、残りの基板に対する移送及び位置整列が行われることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】基板に蒸着される有機発光素子の厚さを一定に維持し、信頼性の高い有機発光素子を製作できる原料物質供給装置を提供する。
【解決手段】基板上に蒸着される原料物質1が固体又は液体状態で収容される原料容器110と、前記原料容器110が設置される内部空間を備えており、前記原料容器110から気化された原料物質1が通過する気化チャンバー120と、前記気化チャンバー120の内部空間で前記原料容器110の上側に設置され、前記原料容器110に収容された原料物質1を気化させるために前記原料容器110に熱を供給する第1のヒーター130と、前記第1のヒーター130と前記原料容器110とが互いに近づく方向又は互いに遠ざかる方向に前記第1のヒーター130及び前記原料容器110のうち一つを往復移送させる移送ユニット140とを含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は薄膜形成用蒸着装置に関する。
【解決手段】本発明は、基板上に蒸着される原料物質が固体又は液体状態で収容される原料容器と、前記原料容器の上方に前記原料容器と連通されるように結合され、前記原料容器から気化した原料物質が通過する気化チャンバーと、前記気化チャンバーの上部に形成され、前記気化チャンバーを通過した気化した原料物質を上側に噴射する噴射口と、前記気化チャンバーの内部又は前記原料容器の内部で前記原料物質の上方に設けられ、前記原料容器に収容された原料物質を気化させるために前記原料物質に熱を供給する第1のヒーターと、前記気化チャンバーの内部で前記第1のヒーターの上方に配置され、前記第1のヒーターにより前記原料物質に熱が供給される間、前記原料容器に収容された原料物質又は不純物が飛散して前記噴射口に付着するのを遮断する遮断板と、を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】薄膜を蒸着するための装置の稼動停止周期を延ばし、装置の使用効率を高めることができる大容量薄膜形成用蒸着装置を提供する。
【解決手段】複数の原料容器110およびセンサー150を設け、原料容器110に収容される原料物質1の量を分散することによって、単一の大容量の原料容器を用いる場合に比べて原料物質1の加熱に必要な熱量を減少させ、第2のヒーター190で噴射口130の周囲の温度を上昇させることによって、噴射口130の周囲では常に原料物質が気化された状態を維持する。 (もっと読む)


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