シリコン系薄膜太陽電池のための可動治具は、平行電極板（２０３、２０８）、支持フレームおよび信号給電アセンブリ（２０１）を含む。支持フレームが可動フレームであり、その側部フレーム（２１６）が接地される。擾乱を防ぐため、治具上または治具アレイ間にシールド装置が設けられる。信号給電アセンブリが導体であり、その中間部分およびヘッド部分がラダー円筒を形成し、信号給電アセンブリの一つの端部表面（２０１−１）が三角であり、電極板のカソード板（２０３）の背面表面の中心領域でくぼんだ三角給電ポート（２０３−１）と表面接触および接続することができ、高周波／超短波電源信号を給電することができる。電極板の中心における表面給電の方式により、一点給電または多点給電方式のフィーダ距離によって生じる消費を低減することができ、均一な電界の大面積の安定した放電を得ることができ、生産効率を増大し、コストを減少させることができる。
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シリコン系薄膜太陽電池のための可動堆積ボックス（０２）は、可動チャンバに設けられた少なくとも１群のカソード板（２０３）および１枚のアノード板（２０８）からなる電極アレイを含み、給電ソケット（２０３−１）がカソード板（２０３）の裏側の中心領域の円または半円凹部表面に位置付けられ、平坦な中間部分を有する給電要素（２０１）の円または半円端面（２０１−１）が信号給電ソケット（２０３−１）に接触し、ＲＦ／ＶＨＦ電源信号を給電し、アノード板（２０８）が接地され、カソード板のシールドカバー（２０４）がスルーホール（２０４−１）を有し、カソード板（２０３）から絶縁される。
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薄膜太陽電池を堆積するためのクランプユニットおよび信号給電方法を提供する。クランプユニットは、電極板モジュール、信号給電モジュール（２０１）および支持フレームを含む。電極板モジュールにシールドカバー（２０４）が設けられる。信号給電モジュール（２０１）は、胴部セクションおよびヘッド部セクションを含み、ヘッド部セクションが矩形形状の信号給電表面である。信号給電モジュール（２０１）のヘッド部セクションは、電極板モジュールの給電ポートと表面接触して接続される。給電ポートは、電極板モジュールのカソード板の背面側の中心部分に配置されるくぼんだ矩形表面上に設けられる。クランプユニットは、事実上、定在波効果および表皮効果を除去し、歩留まりを改善し、コストを低減することができる。
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