エルメス マイクロビジョン,インコーポレーテッドにより出願された特許
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荷電粒子ビーム装置用モノクロメータ及びこれを用いた電子装置
【課題】一次電子ビームのエネルギー幅を低減し、低電圧SEMの解像度を改善するモノクロメーターを実現する。
【解決手段】光軸Zに添って、標準エネルギー及びエネルギー偏差を有する荷電粒子ビームを偏向させるための第1の分散ユニット200、第2の分散ユニット400、それらの中間面310に配置されたエネルギー制限アパーチャ300及び荷電粒子ビームの焦点を調整するためのビーム調整素子100を備えるモノクロメーター500を形成し、荷電粒子ビームの仮想的なクロスオーバーS6を第1の分散ユニット200とエネルギー制限アパーチャ300との間に形成する。
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